一、配氣儀操作規(guī)范

 

　　操作前需做好全面準(zhǔn)備。首先要檢查設(shè)備狀態(tài)，確認(rèn)配氣儀的閥門、管路、密封件無破損、泄漏，壓力傳感器、流量計等部件校準(zhǔn)合格且在有效期內(nèi)。同時，根據(jù)配制需求準(zhǔn)備符合純度要求的原料氣體，氣瓶需固定牢固，減壓閥選型匹配且無銹蝕、泄漏，開啟氣瓶時需緩慢操作，排出管路內(nèi)殘留空氣。環(huán)境方面，操作區(qū)域需通風(fēng)良好、遠離火源與熱源，配備相應(yīng)的氣體檢測報警儀和應(yīng)急防護設(shè)備，操作人員需穿戴防靜電服、防護眼鏡等個人防護裝備。

 

　　操作過程中需嚴(yán)格遵循流程。按照配氣方案設(shè)定氣體配比、壓力、流量等參數(shù)，確認(rèn)參數(shù)無誤后啟動設(shè)備，初始階段需低速運行，觀察管路是否有泄漏、壓力是否穩(wěn)定。配制過程中實時監(jiān)控各參數(shù)變化，嚴(yán)禁超壓、超流量運行，若出現(xiàn)異常需立即停機泄壓，排查故障后再重新啟動。更換氣體種類時，必須對管路進行吹掃，避免不同氣體殘留混合引發(fā)反應(yīng)，吹掃后需通過氣體檢測確認(rèn)管路內(nèi)無殘留雜質(zhì)。

 

　　操作完成后需做好收尾工作。關(guān)閉原料氣瓶閥門，排空配氣儀管路內(nèi)剩余氣體，按照操作規(guī)程關(guān)閉設(shè)備電源。及時清理操作區(qū)域，記錄配氣參數(shù)、氣體種類、配制時間等信息，建立設(shè)備使用臺賬，定期進行維護保養(yǎng)，包括清潔管路、更換密封件、校準(zhǔn)檢測部件等。

 

　　二、氣體相容性關(guān)鍵原則

 

　　氣體相容性需遵循“分類存放、避免反應(yīng)”的核心原則。首先要明確氣體的化學(xué)性質(zhì)，氧化性氣體（如氧氣、氯氣）與還原性氣體（如氫氣、甲烷）嚴(yán)禁混合配制或共用管路，兩者接觸可能發(fā)生燃燒、爆炸反應(yīng)。酸性氣體（如氯化氫、二氧化硫）與堿性氣體（如氨氣、三甲胺）不能共存，否則會產(chǎn)生腐蝕性物質(zhì)，損壞設(shè)備管路并導(dǎo)致氣體純度下降。

 

　　特殊氣體需單獨管控。氣體（如乙烯、丙烷）配制時，操作區(qū)域需嚴(yán)禁明火，設(shè)備需具備防靜電功能，管路需采用防爆設(shè)計；有毒氣體（如一氧化碳、硫化氫）必須在通風(fēng)櫥內(nèi)操作，操作人員需佩戴防毒面具，配備應(yīng)急藥劑；腐蝕性氣體（如氟氣、氯氣）需使用耐腐材質(zhì)的管路和閥門，定期檢查密封性能，防止泄漏腐蝕。

 

　　此外，氣體與設(shè)備材質(zhì)的相容性也不容忽視。部分氣體（如氟氣、氯氣）對普通金屬材質(zhì)有腐蝕性，需選用蒙乃爾合金、聚四氟乙烯等耐腐材質(zhì)；氧氣與油脂接觸會引發(fā)燃燒，接觸氧氣的設(shè)備部件需嚴(yán)格脫脂處理，嚴(yán)禁使用含油潤滑劑。